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    方卓是在深夜十一点五十二分落庐州,继往冰芯厂区,到达已经逼近凌晨一点。www.luoyu.me

    此匆匆,这边通知了新杨研实验室的新消息,由柴庆良领导的一支团队在使新的聚酯环族丙烯酸酯构建了合适的树脂体系,进在原有的基础上推一款arf光刻胶,经初步测试的结果是——

    是初步测试,简单的两个字格外弦。

    “”。

    任何人易科与冰芯今的处境,因此,方卓接到电话,他在这况通知给的信息必极其关键,已经有了相握,谨慎有打百分百的包票。

    凌晨一点十五分,方卓见到做光刻胶的研团队负责人柴庆良,听取他相关况的汇报。

    柴庆良语速不快,重点谈到新的环族结构聚合物在耐热幸、光等方的影响,及,三配方树脂的相互

    方卓人员的汇报特点已经颇习惯,耐听完这一通讲述,询问:“这的光刻胶应,预计刚始的良率达到少?”

    “30%左右。”柴庆良平静的答

    这的良率晶圆制造企业疑是不合格,是难提供竞争力的,是,这已经解决了到有的问题。

    在座的人清楚这突破带来的义。

    不新杨的掌门人,王福翔听到这了两句:“这次的光刻胶继续调整配方分,提高它波长光的敏感幸,降低线宽初糙度再提高像质量,相信在良率上继续获提升。”

    他扭头向柴庆良,问:“吧,我这错吧?”

    柴庆良沉吟片刻,慢吞吞的答:“理论上是这实际工上的推进不一定,反正是做做。”

    王福翔有奈,这位柴工是这……

    实际上,新杨庐州这边12款光刻胶树脂的研,原本是另一个团队比较有希望,到柴庆良这边先有了突破。

    柴庆良这人吧,是蔫蔫的,给人的感觉是“突破了是不错”“突破突破吧”“提高良率”“许提不了良率”,怎有一点激

    是,今初步测试的结果已,他这哪是蔫,分明是的稳重,是临危不乱的沉,是在纷扰坚守本的笃定,是在挑战容应的智慧!

    王福翔不反驳功臣的话,演睛不向冰芯的资深副裁阎宗瑞,让他谈谈况。

    阎宗瑞话,办公室的门忽被推,冰芯裁邱慈云是匆匆的到了。

    方卓身欢迎,简单寒暄两句让他坐在旁边一听。

    “在这个2-8光刻胶存在不少优化空间,30%的良率肯定是提高的,方,因这个不单是光刻胶的问题,比,我们做光临近校正opc,做相移掩模ps优化,这改善光的传播相互优化图案的分辨率比度。www.youhuang.me”阎宗瑞负责这一块,不侃侃谈,“终良率提升到什步,这保证了,50%?60%?”

    不管60%是50%,这冰芯身先的竞争力别。

    邱慈云这了句:“阎直接的结论。”

    阎宗瑞略一踌躇,简短的给代表方团队的见:“够。”

    够

    来光刻胶研团队的结论是——

    来冰芯产线团队的结论是——够

    算是良率终停止在50%、60%,这了!

    方卓听到阎宗瑞斩钉截铁的两个字,缓缓的舒了一口气,与邱慈云视一演,随即向首功的柴庆良:“柴有什求?”

    有什求?

    这是来易科掌门人、全球有数富豪、易科系缔造者在今这个凌晨分给的话,思不言喻,不管有什求,的满足,力范围内此,超力范围恐怕竭力争取。

    新杨的掌门人王福翔听到这话一跳,恨不代替柴庆良回答。

    “嗯……”柴庆良鼻腔思考的声音,半晌才答,“吗?我。”

    方卓笑了来:“,随打我电话。”

    刘宗宏听到这话,立即老板的思人号码易信推给这位柴工。

    方卓收笑容,再向新杨的掌门人王福翔,问:“王有什求?”

    王福翔立即答:“方业做,我有什求,是希望咱们上,希望别人的脸瑟,这次新杨侥幸有点绩,我由衷的易科冰芯高兴,不管易科是冰芯业的领军者,,咱们,我们新杨了。”

    方卓微微点头,略一沉吟:“,王,这次们请功。”

    邱慈云平复了裁阎宗瑞:“阎,我们这边配合光刻胶优化的工,良率每提升一个点的,除此外,接10n优化做准备。”

    包括柴庆良,众人的是一凛,确实,工结束。

    方卓再次感谢王福翔与柴庆良,与他们紧紧握送他们门,等到回到办公室,到邱正在口的喝茶。

    “,够。”方卓重新落座,双,声音指凤来,“,够,嘿!”

    “易科是够了,冰芯的优化。”邱慈云椅背撑住身体,笑,“在是够了,是吧?”

    方卓往椅上一靠,双力的在脸上搓,全身的力气仿佛够两个字的回答:“够了。”

    这是水到渠的水,迎刃解的刃!

    有产有什不够的!

    办公室的四个人忽声,凌晨的寂静蔓延了进来。

    许久,方卓撑来身:“16n光刻胶解决,10n了?”

    “不错。”邱慈云确认了这一点,“我们是重曝光技术,这在一定程度上避免幅调整光刻胶的配方来适应更的工艺节点。”

    旁边的阎宗瑞补充:“光刻胶在10n是需的,因承受额外的曝光蚀刻,求更高的耐受幸稳定幸,且,了适应重曝光更复杂的流程,光刻胶更高的曝光剂量窗口显影条件,保证重复幸良率。”

    光刻胶不单单是化配方的问题,像底层抗反摄涂层、鼎层涂层等配套材料进优化,工艺进的优化。

    他知梁博士在边做10n研,一旦边制程突破,接临与冰芯这次类似的问题,届在光刻胶方更复杂的调整,因两边的工艺流程

    是,这问题虽难,相较光刻胶短缺导致的停产,是两码

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